Le nouveau Pura plus a été spécialement conçu pour les derniers changements dans la demande de l'industrie des plaquettes pour la taille et les indicateurs de l'équipement. Pura plus est un transmetteur de micro - hygrométrie en ligne, multiplex installé au bout de l'alimentation en gaz menant à la ligne de production dans une usine de semi - conducteurs pour surveiller les applications de gaz inertes ultra - Purs. La distribution des systèmes de gaz dans l'usine est complexe et implique de nombreuses branches, nœuds et points d'utilisation. Par conséquent, après un point de surveillance de l'humidité conventionnel, l'humidité peut s'infiltrer en raison de fuites infimes, d'une conception de système inefficace, d'une défaillance d'un élément ou d'une erreur de processus, ce qui affecte l'utilisation en aval. Tandis que Pura plus, installé dans le système de distribution, est capable de fournir une indication rapide de réponse, à un niveau d'humidité de 20 ppb Un temps de réponse de 1 ppb est inférieur à 1 minute. Highlights Réponse rapide aux changements d'humidité au niveau ppb Sensibilité au niveau ppb à faible humidité (< 1 ppb) Un tout nouveau concept pour les installations de mesure multipoint Faibles exigences de maintenance Indication d'état de type voyant lumineux Les points d'avertissement et d'alarme peuvent être réglés Compatible avec le réseau Modbus Logiciel multicanal pour interface de contrôle à distance Détection en ligne de gaz ultra - Purs (UHP)
indicateurs techniques
Vitesse de réponse < 1 min 20 ppb changement d'humidité temps de réponse de 1 ppb Échelle d'humidité 1 ppb à 20 000 ppm Gamme de pression 0 à 10 bar Classe de résistance à la pression 300 bars Test de fuite 0 à 9 mbar l/s Gamme de flux de travail 1 à 10 l/min température de fonctionnement 5 à 40°C Température de stockage 30 à 70°C alimentation 20 à 28 V DC Consommation électrique 5 W max Classe de fusible externe 500 ma type à fusion rapide Sortie de données Modbus ASCII deux lignes RS485 Sorties d'avertissement et d'alarme 2 voies Tension maximale 40 V DC Courant maximal 100 mA Matériaux en contact avec le gaz Matériau du boîtier Acier inoxydable AISI 316L, surface intérieure polie < 10 ra Structure du capteur Electrolyte d'alumine, couche supérieure de protection dorée, couche inférieure d'aluminium Volume intérieur 4,4 cm³ poids 450g Interface de route de gaz VCR de 1/4' m Interface électrique 9 - aiguille D - type m interface Compatibilité électromagnétique En50081 - 2 et en50082 - 2