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Four à plaques de photolithographie sans oxygène
I. vue d'ensemble: plaque de four sans oxygène encapsule le four sans oxygène, four sans oxydation, au travail, le studio est rempli de gaz inerte CO2
Détails du produit

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

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I. Généralités:
La plaque de four sans oxygène encapsule le four sans oxygène, le four sans oxydation, au travail, la Chambre de travail est remplie de gaz inerte CO2, N2, empêchant le matériau de s'oxyder lors de la cuisson. Utilisation des fours sans oxydation dans l'industrie: emballage IC, LCD, Transistors, capteurs, diodes, oscillateurs à quartz, circuits intégrés hybrides…


II. Paramètres techniques du produit
1. Nom et modèle: double chambre de travail four anaérobie ao - 2dsl fcnet (prend en charge la fonction en ligne du réseau Onet - 240)
2. Principaux indicateurs techniques:
2.1 taille de travail: w1000 * D500 * h610 * 2 mm
2.2 alimentation: 380v 3φ50hz 18kva
2.3 Le contrôle de la teneur en oxygène doit être < = 100 ppm.
2.4 plage de température: RT (température ambiante) + 60 ~ + 300 ℃;
2,5 uniformité de la température: ± 1,5%;
2.6 vitesse de montée en température: température ambiante ~ 250 ℃, 45 minutes (test de boîte vide). (haute température de processus du client 300 ℃)
2.7 refroidissement par air: le refroidissement peut être de 250 ℃ à 70 ℃ en 100 minutes


3, structure de boîte:
3.1 Le four est assemblé par la partie du boîtier, la partie de l'armoire de commande des appareils électriques, le chauffage électrique et la partie du système de conduit d'air, la structure est raisonnable et l'apparence est belle et généreuse;
3.2 soudage à l'argon toute la semaine, résistance à la compression de silicone à haute température, générateur de chaleur électrique en acier inoxydable SUS304 №, anti - poussière générée par la table elle - même;
3.3 matériau du boîtier: le boîtier extérieur adopte la plaque d'acier au carbone moyenne ss41 \, après le traitement par le sel de film de phosphate, deux couches de peinture de cuisson enduite anti - lumière, peut empêcher la poussière légère;
3.4 matériau de la vésicule interne: l'utilisation de la plaque d'acier inoxydable miroir importée SUS304 № jour 800 fois 2mm d'épaisseur et nettoyée avec de la soude alcaline, la décoloration pour éviter la production de Particle lors de la cuisson;
3.5 matériau du seau moyen: en utilisant la plaque d'acier inoxydable miroir importée SUS304 № de jour 800 fois 2 mm d'épaisseur et nettoyée avec de la soude alcaline, dépolluée et soudée à l'argon pour le traitement d'étanchéité (anti - pollution).
3.6 matériel d'isolation thermique: coton de silicate d'aluminium;
3.7 refroidissement de la mezzanine: refroidissement par air de la mezzanine


4, système de contrôle de température
4.1 Le Contrôleur utilise l'écran tactile PLC 2 en 1 pour contrôler les deux cavités pour fonctionner indépendamment et basculer à tout moment.
4.2 mesure de la température: avec une résistance au platine spécialement conçue;
4.3 système de contrôle de l'azote: système de contrôle intelligent de l'azote avec double débitmètre.
5, mesures de protection de sécurité parfaites: Disjoncteur de fuite / / protection de surchauffe / / protection de sous - phase / / protection de courant de surcharge de moteur / / alarme de sonnerie anormale de bâti

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