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Système Ellipsomètre SpecEl
Système Ellipsomètre SpecEl
Détails du produit

L'ellipsomètre SpecEl-2000-VIS mesure la lumière polarisée réfléchie à la surface d'un substrat pour déterminer l'épaisseur et l'indice de réfraction du matériau en fonction de la longueur d'onde. Le SpecEl est contrôlé via un PC. Mesurez l'indice de réfraction, l'absorbance et l'épaisseur en appuyant sur un bouton.

Système tout-en-un précis

Le SpecEl abrite une source lumineuse intégrée, un spectromètre et deux polarisateurs fixés à 70°. Il comprend également un PC avec un système d'exploitation Windows 32 bits. Le SpecEl peut détecter une seule couche aussi fine que 0,1 nm et jusqu'à 5 µm d'épaisseur. De plus, il peut fournir des indices de réfraction à 0,005°.

Le SpecEl est disponible pour Call for Price.

Logiciel SpecEl et fichiers "Recette"

Dans SpecEl Software, vous pouvez configurer etenregistrer des fichiers de méthode d'expérience pour une analyse en une seule étape. Après avoir créé une recette, vous pouvez sélectionner la recette pour exécuter l'expérience.

Spécifications

Plage de longueur d'onde: 380-780 nm (standard) ou 450-900 nm (facultatif)
Résolution optique : FWHM de 4,0 nm
Précision : épaisseur de 0,1 nm; Index de réfraction de 0,005 %
Angle d'incidence : 70°
Épaisseur du film: 1-5000 nm pour film transparent unique
Taille du point: 2 mm x 4 mm (standard) ou 200 µm x 400 µm (facultatif)
Temps d'échantillonnage: 3-15 secondes (minimum)
Enregistrement cinétique : 3 secondes
Tolérance mécanique (hauteur): +/- 1,5 mm, angle +/- 1,0°
Nombre de couches : Jusqu'à 32 couches
Référence : Non applicable

Enquête en ligne
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